DRIE

  • 释义

  • deep reactive ion etching 深反应离子蚀刻;

  • 双语例句
  • 1、

    The micro - actuators are fabricated by use of DRIE on SOI wafer.

    本文中的微执行器采用深层反应离子刻蚀(DRIE)技术在硅隔离衬底(SOI)硅片上制作.

    互联网
  • 2、

    The rooting effect of the structure in deep reactive ion etching ( DRIE ) process was investigated.

    给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深 反应离子刻蚀 过程中的过刻蚀现象的方法.

    互联网
  • 相关阅读